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【小特講堂】射頻板條波導CO2激光器為何需要光束整形?

閱讀量: 2859次 2022-03-14

全金屬封離型射頻激勵擴散冷卻板條波導CO2激光器,一般簡(jiǎn)稱(chēng)為CO2射頻板條激光器。


ZAMIAQ系列射頻激光器就屬于板條波導CO2激光器,下面小特將以Q系列為例,為大家一一剖析


- - “?射頻板條波導CO2激光器為何需要光束整形 ”

/ Q 列 射 頻 激 光 器?/


不同于全波導的CO2激光器,板條波導CO2激光器的放電區是由兩塊相對平行放置的間隔為毫米的長(cháng)方形金屬板條構成。


兩個(gè)全反射鏡安裝在兩金屬板條兩端,組成激光器諧振腔,用于提取激光。腔鏡帶有曲率,曲率半徑短的為前腔鏡,曲率半徑較長(cháng)的為后腔鏡,前腔鏡短于后腔鏡,兩腔鏡一側對齊安裝,激光束從前腔鏡的另一側輸出。如下圖



兩極板之間長(cháng)幾百毫米,寬數十毫米,高度為幾毫米空間,從數值上看,高度方向的尺寸和激光束相當,遠小于寬度方向,形狀近似為一平片。


在此空間內發(fā)生放電,產(chǎn)生增益介質(zhì)。同時(shí),在兩片諧振腔之間振蕩的激光往返多次通過(guò)此區域。


每次激光束通過(guò)此區域時(shí),在高度方向和寬度方向上傳輸規律不同,在寬度方向上,由于寬度方向的尺寸遠大于激光光束的尺寸,所以,激光束在此方向上是不受約束的自由通過(guò)。


而在高度方向上,由于高度方向的尺寸和激光光束的尺寸相當,所以,每次激光束在此方向上受約束通過(guò)。


激光束在腔內多次振蕩,通過(guò)兩極板間的平片空間,在前鏡的一側輸出,造成最終輸出的激光光束在寬度和高度方向上的不對稱(chēng)。激光束表現在兩個(gè)方向上的發(fā)散角和光斑大小不同,在寬度方向上的發(fā)散角小,高度方向上的發(fā)散角大,即兩個(gè)方向的光束質(zhì)量不同。


下圖為從諧振腔內輸出后的激光光束在自由空間傳輸時(shí)的示意圖:


從上圖可以看出,激光光束隨著(zhù)傳輸距離不同,光斑形狀發(fā)生變化,在遠場(chǎng)為一橢圓光斑。


這種激光光束直接聚焦,在焦點(diǎn)位置得到的也是一橢圓光斑。這將會(huì )導致加工時(shí)兩個(gè)方向的線(xiàn)條粗細不一致,切割效果不同,最終影響加工效果。



所以為了得到兩個(gè)方向的發(fā)散角相同,光斑大小相同的激光光束,需要對上述的不對稱(chēng)激光光束進(jìn)行整形,使其兩個(gè)方向的光束質(zhì)量因子相同,得到圓對稱(chēng)的準基模高斯光束。讓激光打標機,激光切割機,激光雕刻機等激光加工設備可以得到圓形的聚焦光斑。


激光光束整形為一系列鏡片組成的復雜系統,一般在兩個(gè)方向上,分別引入非對稱(chēng)光學(xué)元件,如柱透鏡,或者柱面反射鏡來(lái)實(shí)現。


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